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克服困难半导体产业研发晶圆


  当今社会为了克服制程微缩带来日益严峻的设计复杂度与成本提升,朝向18寸(450mm)晶圆制造迈进已成为半导体产业共同努力的目标。在今年SEMICONTaiwan期间,SEMI邀请到450mm联盟、英特尔、KLATencor、和SUMCO等多家业者讨论SEMI的450mm技术专案小组在促进次世代半导体产业发展所做的努力以及新成果。
  回顾了过去半导体产业从6寸陆续移转到8寸与12寸晶圆的历程,指出,每次的世代移转,业界共同合作与标准制定都扮演着重要角色,对450mm晶圆移转来说是如此。目前450mm联盟正与供应商密切合作,已完成了过50个工具平台的开发与测试,下一个阶段,各家IC制造商将自行建立试产线,因此接下来,对于自动化系统、量测与生产制程工具的需求将会浮现。450mm晶圆制造工具将会持续进展,与当初产业朝12寸移转一样,终将能满业者的实际生产需求。

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